• 专利附录
  • 专利说明
  • 权利要求
  • 类似技术
  • 同族专利
  • 引用文献
  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:

    公开号:WO1987002598A1
    申请号:PCT/DE1986/000423
    申请日:1986-10-21
    公开日:1987-05-07
    发明作者:Holger JÜRGENSEN
    申请人:Aixtron Gmbh；
    IPC主号:F16K11-00
    专利说明:
    [0001] Gaseinlaßvorrichtung für Reak tionsgefäße
    [0002] B e s c h r e i b u n g
    [0003] Technisches Gebiet
    [0004] Die. Erfindung bezieht s ich auf e ine Gaseinlaß Vorrichtung für Reak tionsgefäße , insbesondere für die I II-V-Ha lbleiterherstellung, gemäß dem Oberbegrif f des Patentanspruchs
    [0005] 1 .
    [0006] Bei Reaktionsgefäßen, die insbesondere für die III-V-Halbleiterherstellung geeignet sind, besteht allgemein das Problem, nacheinander eine Reihe von Reaktionsgasen sowie ein Träger- bzw. Schutzgas in das Reaktionsgefäß einzuleiten. Dabei sollen die Reaktionsgase nicht nur mit bestimmten Drücken, sondern auch in einer genau definierten zeitlichen Abfolge mit "scharfen" Konzentrationsübergängen eingeleitet werden können.
    [0007] Stand der Technik
    [0008] In der Vergangenheit sind in der Regel GaseinlaßVorrichtungen verwendet worden, die für jedes Reaktions- bzw. Trägergas ein Absperrventil sowie gegebenenfalls Dosiereinrichtungen aufweisen. Dabei sind u.a. Ventile in Betracht gezogen worden, wie sie beispielsweise in "PATENTS ABSTRACT OF JAPAN" M-201, Vol.7, 1983 beschrieben sind.
    [0009] Es hat sich jedoch herausgestellt, daß es mit Gaseinlaßvorrichtungen, bei denen bekannte Ventiltypen, beispielsweise die in "PATENTS ABSTRACT OF JAPAN" beschriebenen 4Wege-Ventile mit zwei einseitig, unabhängig arbeitenden Ventilkolben verwendet werden, nicht möglich ist, die Reaktionsgase zeitlich nacheinander in rascher Folge in das Reaktionsgefäß einzubringen, ohne daß Restgasverunreinigungen entstehen. Insbesondere stören die bei den bekannten Gaseinlaßvorrichtungen auftretenden Schaltverzögerungen auf Grund der unumgänglichen Totvolumina und/ oder von gleichzeitig abgesperrten Leitungen. Darüberhinaus können durch An-bzw. Abschalten verschiedener Gasströme Driuckschwankungen im Reaktionssystem auftreten, die für den Prrozeß störend sein können.
    [0010] Ferner ist es mit den bekannten Ventileinrichtungen nur mit großem Aufwand möglich, die für die III-V-Halbleiterherstellung erforderlichen Leckraten von kleiner als 10 -8 mbar*l/sec zu erreichen.
    [0011] Darstellung der Erfindung
    [0012] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine GaseinlaßVorrichtung für Reaktionsgefäße, insbesondere für die IIIV-Halbleiterherstellung, anzugeben, bei der die Schaltverzögerungen auf Grund des Umschaltens von verschiedenen Reaktionsgas-Strömen minimal sind und darüberhinaus praktisch keine Druckschwankungen beim Umschalten auftreten.
    [0013] Eine erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist mit ihren Weiterbildungen in den Patentansprüchen gekennzeichnet.
    [0014] Erfindungsgemäß weist die Ventileinrichtung für jedes Reaktionsgas ein Mehr-Wege-Ventil auf, das einen ständig vom Trägergas durchströmten Durchgangskanal besitzt. Je nach Schaltstellung des Ventils ist der ReaktionsgasEinlaß mit dem vom Trägergas durchströmten Durchgangskanal und damit mit dem Reaktionsgas-Einlaß des Reaktionsgefäßes oder einem zweiten Ausgangsanschluß verbunden, so daß kein durch diesen Einlaß einströmendes Reaktionsgas in das Reaktionsgefäß gelangen kann.
    [0015] Diese Anordnung hat eine Reihe von Vorteilen:
    [0016] Da der Reaktionsgas-Strom nicht an- bzw. abgeschaltet, sondern: lediglich zwischen dem Durchgangskanal und dem zweiten Ausgangsanschluß umgeschaltet wird, entstehen praktisch keine Druckschwankungen. Darüber hinaus sind die Schaltverzögerungen auf Grund von Totvolumina etc. in der Praxis zu vernachlässigen, da sämtliche ReaktionsgasEinlässe mit dem ständig vom Trägergas durchströmten Kanal in dem Betriebszustand verbunden sind, in dem dieses Reaktionsgas in den Reaktionsraum einströmen soll.
    [0017] Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet:
    [0018] Die im Anspruch 2 gekennzeichnete Ausbildung mit einem gemeinsamen Abgaskanal, mit die zweiten Ausläße der einzelnen Mehr-Wege-Ventile verbunden sind, ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn die Abgase giftige Bestandteile und/oder Bestandteile enthalten, die aus dem Abgas wiedergewonnen werden sollen.
    [0019] Als Mehr-Wege-Ventile können beispielsweise 4-Wege-Ventile (Anspruch 3) oder 5-Wege-Ventile (Anspruch 6) verwendet werden.
    [0020] Im Anspruch 4 ist eine besonders einfache Ausbildung eines bei der erfindungsgemäßen Gaseinlaßvorrichtung verwendeten 4-Wege-Ventil beschrieben. Das 4-Wege-Ventil besteht aus zwei einzeln betätigbaren Absperrventilen, von denen eines normalerweise geschlossen und das andere normalerweise geöffnet ist. Das normalerweise geschlossene Absperrventil ist in der Verbindung zwischen dem Durchgangskanal und dem Reaktionsgas-Eingangsanschluß angeordnet, während das normalerweise geöffnete Absperrventil in der Verbindung zwischen dem Reaktionsgas-Eingangsanschluß und dem zweiten Ausgangsanschluß angeordnet ist, über den das Reaktionsgas dann abströmt, wenn es nicht in den Reaktionsraum eingelassen werden soll.
    [0021] Durch die in Anspruch 5 gekennzeichnete Anordnung der Eingangs- und Ausgangsanschlüsse sowie der Absperrventile erhält man bei 4-Wege-Ventilen kürzest mögliche Verbindungen zwischen den einzelnen Anschlüssen und den Ventilen, so daß eventuell noch bestehende Totvolumina weiter herabgesetzt werden.
    [0022] Die Verwendung von 5-Wege-Ventilen als Mehr-Wege-Ventile hat den Vorteil, daß der Ventilblock zusätzlich einen Abgas-Durchgangskanal aufweisen kann, durch den nicht nur der Leitungsaufwand zur Verbindung der einzelnen Ventile, sondern auch das Volumen der Abgasleitung weiter herabgesetzt wird.
    [0023] Die Verwendung von Faltenbalg-gedichteten Absperrventilen gemäß Anspruch 7 erlaubt in einfacher Weise, die insbesondere für die III-V-Halbleiterherstellung erforderliche Leckrate von kleiner als 10 -8 mbar*l/sec zu realisieren.
    [0024] Von besonderem Vorteil ist es in jedem Falle, wenn gemäß Anspruch 8 die Ventile elektrisch oder pneumatisch betätigbar sind. Eine derartige elektrische oder pneumatische Betätigung erlaubt es, eine Steuereinheit für die erfindungsgemäße Gaseinlaßvorrichtung vorzusehen. Diese Steuereinheit kann die einzelnen Mehr-Wege-Ventile entsprechend dem gewünschten Einlaßprogramm für die verschiedenen Reaktionsgase umschalten. Darüber hinaus kann die Steuereinheit auch die einzelnen Reaktionsgas-Ströme auf vorgegebene stationäre Werte beispielsweise mit. einem entsprechenden Drossel-bzw. Proportionalventil einstellen.
    [0025] Im Anspruch 9 ist eine vorteilhafte Ausbildung eines erfindungsgemäß ausgebildeten 4-Wege-Ventils angegeben. Durch Modifizieren eines handelsüblichen 3-Wege-Ventils ist es mit geringen Kosten möglich, die erfindungsgemäßen 4-Wege-Ventile herzustellen. Beispielsweise können die erfindungsgemäßen 4-Wege-Ventile durch Modifikation eines handelsüblichen ASM-3-Wege-Ventils hergestellt werden.
    [0026] Die Totvolumina, Steuerzeiten sowie der Gasverbrauch können weiter reduziert werden, wenn die Einlasse und Auslässe der Ventile Anschlüsse aufweisen, die ein direktes Verbinden der einzelnen Ventile der Gaseinläßvorrichtung sowie des Reaktionsgefässes erlauben. Derartige Anschlüsse sind beispielsweise VCR-Male und VCR-FEMALESchraubanschlüsse. Beispielsweise wird der Einlaß für den Trägergasstrom mit einem VCR-MALE-Anschluß versehen, während der Auslaß mit einem VCR-FEMALE-Anschluß versehen wird (Anspruch 10).
    [0027] Insbesondere bei teueren Reaktionsgasen ist es durch die Verwendung der erfindungsgemäß vorgesehenen Steuereinheit (Anspruch 11) möglich, daß die Steuereinheit den stationären Reaktionsgas-Strom erst kurze Zeit vor dem Zeitpunkt, zu dem der Reaktionsgas-Strom in das Reaktionsgefäß eingeleitet werden soll, auf einen vorgebbaren stationären Wert einstellt, um nicht unnötig teures Reaktionsgas durch den zweiten Ausgangsanschluß "abströmen" zu lassen. Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Gaseinlaßvorrichtung ist, daß zum Lecktest beide Absperrventile geschlossen werden können. Der Lecktest kann auch durch die Steuereinheit automatisiert werden, die zum Lecktest beide Absperrventile schließt und die Leckrate mißt.
    [0028] Kurze Beschreibung der Zeichnung
    [0029] Dιe Erfindung wird nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher beschtieben, in der zeigen:
    [0030] Fig. 1 schematisch eine erfindungsgemäße Gaseinlaßvorrichtung,
    [0031] Fig. 2a und 2b den Aufbau eines erfindungsgemäß mit einem Durchgangskanal versehenen 4-Wege-Ventils.
    [0032] Fig. 3a, b und c den Aufbau eines erfindungsgemäß mit mehreren durchgangskanälen versehenen 5-WegeVentils.
    [0033] Beschreibung von Ausführungsbeispielen
    [0034] Figur 1 zeigt schematisch eine erfindungsgemäße GaseinlaßVorrichtung für Reaktionsgefäße, insbesondere für die IIIV-Halbleiterherstellung. Die erfindungsgemäße GaseinlaßVorrichtung weist eine Reihe von nur schematisch dargestellten 4-Wegs-Ventilen 11, 12, bis 17, auf. Die 4-WegeVentile 1, deren Aufbau in Verbindung mit den Figuren 2a und 2b näher erläutert werden wird, haben jeweils vier Anschlüsse 2, 3, 4 und 5. Die Anschlüsse 3 und 5 sind dabei durch einen Durchgangskanal 6 laufend verbunden, während der Anschluß 2 je nach Schaltstellung des Ventils entweder mit dem Durchgangskanal 6 oder dem Anschluß 4 verbunden ist.
    [0035] Die einzelnen Ventile 11 bis l7 sind so miteinander verschaltet, daß mit dem Anschluß 3 des Ventils 11 eine Leitung 7 für einen Trägergas-Strom verbunden ist, während die Anschlüsse 5 jeweils mit dem Anschluß 3 des nächsten Ventils verbunden sind. Der Anschluß 5 des Ventils 17 ist über eine Leitung 8 mit dem Reaktionsgefäß verbunden. Hierdurch entsteht ein durchgehender Kanal für den Trägergas-Strom. Die Anschlüsse 2 der verschiedenen Ventile sind mit Vorratsgefäßen für die einzelnen Reaktionsgase verbunden, während die Anschlüsse 4 mit einem gemeinsamen Abluftkanal 9 verbunden sind. Der Abluftkanal 9 wird mittels einer Ablύftspül-Leitung 10 laufend gespült. Ferner können noch nicht dargestellte Dosier- bzw. Proportionalstellventile vorgesehen werden, mit denen die einzelnen Reaktionsgasströme eingestellt werden können.
    [0036] Die in Verbindung mit Figur 1 erläuterte Gaseinlaßvorrichtung erlaubt es, dem ständig über die Leitung 7, die einzelnen Durchgangskanäle 6 sowie die Leitung 8 in den Reaktor strömenden Trägergas-Strom je nach Schaltstellung der einzelnen Ventile 11 bis 17 die einzelnen Reaktionsgase beizumischen.
    [0037] Da die Reaktionsgasströme durch die Ventile 1 lediglich umgeschaltet werden, entstehen keine Druckschwankungen beim An- bzw. Abschalten von Reaktionsgasen. Darüberhinaus ist das Totvolumen der erfindungsgemäßen Gaseinlaßvorrichtung zum einen durch den in Verbindung mit den Figuren 2a und 2b im folgenden näher erläuterten Aufbau der einzelnen Ventile sowie durch die ständige Trägergas-Spülung der Kanäle äußerst gering, so daß schnelle Schaltzeiten für die einzelnen Reaktionsgase erreicht werden können. Die Anstiegs- und Abfallzeiten der einzelnen ReaktionsgasBeimischungen können dabei im Bereich deutlich unter einer Sekunde liegen. Figur 2a zeigt einen Querschnitt durch ein erfindungsgemäßes 4-Wege-Ventil, Figur 2b einen Querschnitt durch das Ventil bei der Linie II-II in Figur 2a.
    [0038] Das pauschal mit 1 bezeichnete Ventil weist - wie bereits in Ve-rbindung mit Figur 1 beschrieben - vier Anschlüsse 2, 3, 4 und 5 auf. Die vier Anschlüsse 2 - 5 sind sternförmig angeordnet. Der Anschluß 2 ist über einen Kanal 11 mit einem Kanal 12 verbunden, dessen beide Enden in Hohlräume 13 und 14 münden, in denen die Ventilstößel 15 und 16 der Faltenbalgventile 17 und 18 angeordnet sind. Die Ventilstößel 15 und 16 dichten dabei jeweils die Enden des Kanals 12 ab. Der Anschluß 4 ist über einen Kanal 19 mit dem Hohlraum 14 verbunden, während die Anschlüsse 3 und 5 über Kanäle 20 und 21 mit dem Hohlraum 13 verbunden sind.
    [0039] Ferner sind bei den gezeigten Ausführungsbeispielen die Ventile pneumatisch betätigbar, wobei das Ventil 17 normalerweiser geöffnet und das Ventil 18 normalerweise geschlossen ist. Die pneumatische Betätigungseinrichtung der Ventile ist bekannt, so daß sie im folgenden nicht näher erläutert werden wird.
    [0040] Wie bereits in. Verbindung mit Figur 1 beschrieben, ist der Anschluß 2 mit einem Reaktionsgas-Behälter und der Anschluß 3 mit einer Leitung bzw. mit dem Anschluß 5 des stromaufwärts angeordneten Ventils verbunden, durch das ein Trägergas-Strom fließt. Der Trägergas-Strom kann dabei durch den Anschluß 3, den Kanal 20, den Hohlraum 13 den Kanal 21 und den Anschluß 5 unabhängig von der Schaltstellung der Stößel 15 und 16 durch das 4-Wege-Ventill hindurchströmen. Der Reaktionsgas-Strom, der durch den Anschluß 2 in das Ventil eintritt, fließt im nichtbetätigten Zustand durch den Kanal 11, den Kanal 12, den Hohlraum 14, den Kanal 17 zu dem Anschluß 4 und damit in den Abluftkanal 9. Im betätigten Zustand, in dem der Stößel 16 den Kanal 12 verschließt und der Stößel 15 zurückgezogen ist, fließt der Reaktionsgasstrom über den Kanal 11 und den Kanal 12 in den Hohlraum 13 und damit über den Kanal 21 zum Ausgangsanschluß 5.
    [0041] Fig. 3a zeigt einen Längsschnitt durch ein erfindungsgemäß ausgebildetes 5-Wege-Ventil; Fig. 3b zeigt einen Querschnitt bei der Linie III-III in Fig. 3a und Fig. 3c die Verschaltung der einzelnen Ventile 11, 12 , . . . in einer erfindungsgemäßen Gaseinlaßvorrichtung entsprechend der Darstellung in Fig.1.
    [0042] Dabei sind Teile, die Teilen in den Fig. 1 und 2 entsprechen bzw. eine ähnliche Funktion ausüben, mit den gleichen Bezugszeichen versehen, so daß auf eine eingehende Beschreibung verzichtet werden kann.
    [0043] Das 5-Wege-Ventil weist fünf Anschlüsse 2, 3, 4, 4' und 5 auf. Die Anschlüsse 3 und 5 sind durch einen Durchgangskanal 6 im Ventilblock 1' für das Trägergas und die Anschlüsse 4 und 4' durch einen Durchgangskanal 9' für das Abgas direkt Verbunden.
    [0044] Bei geschlossenem Faltenbalgventil 17 und geöffnetem Faltenbalgventil 18 strömt das Reaktionsgas vom Anschluß 2 über den Kanal 12' und eine Bohrung 16 im Ventil-Stößel 16 in den Durchgangskanal 6; bei geschlossenem Ventil 18 und geöffnetem Ventil 17 strömt das Reaktionsgas vom Einlaß 2 in den Durchgangskanal 9' für das Abgas.
    [0045] Dieses Ventil hat den Vorteil, daß durch einfaches Hinter- einanderschalten gleicher Ventile 1 sowohl der Durchgangskanal 6 für das Trägergas als auch der Kanal 9 für das Abgas gebildet wird. Diese Anordnung reduziert damit Totvolumina sowie den baulichen Aufwand auf ein Minimum.
    [0046] Den in den Figuren 2 und 3 dargestellten Mehr-Wege-Ventilen mit einem Durchgangskanal für das Trägergas ist in Verbindung mit der erfindungsgemäßen Gaseinlaßvorrichtung eine Reihe von Vorteilen gemeinsam:
    [0047] Die erfindungsgemäßen Ventile weisen praktisch keine Toträume auf, so daß die Umschaltzeiten zwischen den einzelnen Gasströmen sehr kurz sind.
    [0048] Die einzelnen Reaktionsgasströme werden nicht an- bzw. abgeschaltet, sondern lediglich zwischen dem Auslaß 4 und dem Auslaß 5 umgeschaltet, so daß keine Druckschwankungen auftreten.
    [0049] Ferner können die Anschlüsse 5 bzw. 3 sowie gegebenenfalls die Anschlüsse 4 und 4', die in einer Ebene liegen, von aufeinanderfolgenden Ventilen direkt miteinander verbunden werden, wenn sie mit geeigneten Schraubverbindungen versehen werden, beispielsweise einfachen Rohrverschraubungen oder vorteilhalfter Weise VCR-MALE-SchraubVerbindungen und VCR-FEMALE-Schraubverbindungen. Führt man z.B. den Anschluß 3 als VCR-MALE-Verbindung und den Anschluß 5 als VCR-FEMALE-Verbindung aus, so ergeben sich besonders kurze Leitungswege, die die Schaltzeiten beim Umschalten zwischen den einzelnen Reaktionsgasströmen weiter herabsetzen.
    [0050] Ferner können beide Ventilstößel 15 und 16 geschlossen werden, so daß die Anlage ohne Schwierigkeiten leckge- testet werden kann.
    [0051] Vorstehend ist die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen beschrieben worden. Im Rahmen des allgemeinen Erfindungsgedankens - eine Gaseinlaßvorrichtung aus MehrWege-Ventilen mit wenigstens einem Durchgangskanal für das Trägergas aufzubauen - sind die verschiedensten Modifikationen möglich:
    [0052] Die Ausbildung des erfindungsgemäßen Mehr-Wege-Ventils ist selbstverständlich nicht auf die in Figur 2 oder 3 gezeigten Ausbildungen beschränkt, auch wenn diese verschiedene Vorteile haben. Beispielsweise hat das Ventil gemäß Fig. 2 den Vorteil, daß es sich leicht durch Modifizierung eines handelsüblichen 3-Wege-Ventils realisieren läßt. Hierzu wird lediglich das 3-Wege-Ventil mit einem zusätzlichen Anschluß, nämlich dem Anschluß 5 sowie mit dem Kanal 21 versehen, der den ständigen Durchgang für das Trägergas herstellt.
    [0053] Das Ventil gemäß Fig. 3 hat den Vorteil, daß es kompakt aufgebaut ist und einen einfachen Aufbau der erfindungsgemäßen Vorrichtung erlaubt.
    [0054] Auch ist es möglich von Hand betätigbare oder elektrisch betätigbare Ventile zu verwenden. Elektrisch oder pneumatisch betätigbare Ventile haben jedoch den Vorteil, daß die erfindungsgemäße Gaseinlaßvorrichtung mittels einer Steuerung steuerbar ist, so daß die einzelnen Reaktionsgasströme zu genau definierten Zeitpunkten in das Reaktionsgefäß geleitet werden können.
    权利要求:
    Claims P a t e n t a n s p r ü c h e
    1. Gaseinlaßvorrichtung für Reaktionsgefäße mit einer Ventileinrichtung, über die ein oder mehrere Reaktionsgase srjwie ein Trägergas in das Reaktionsgefäß einleitbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß in der Ventileinrichtung für jedes Reaktionsgas ein Mehr-Wege-Ventil (1) vorgesehen ist, das. einen ständig vom Trägergas durchströmten Durchgangskanal (6; 20, 13, 21) aufweist, dessen Auslaß (5) mit dem Einlaß (3) des stromabwärts nächsten Mehr-Wege-Ventils (1) bzw. des Reaktionsgefäßes (8) verbunden ist, und dessen Reaktionsgas-Einlaß (2) je mach Schaltstellung des Ventils mit dem Durchgangskanal (6; 20, 13, 21) oder einem zweiten Auslaß (4 bzw. 4') verbunden ist.
    2. Gaseinlaßvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten Ausläße (4, 4') der einzelnen Mehr-Wege-Ventile (1) mit einem Abgaskanal (9) verbunden sind, in dem ein Unterdruck oder eine Strömung aufrechterhalten wird.
    3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenözeichnet, daß das Mehr-Wege-Ventil ein 4Wege-Ventil ist.
    4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das 4-Wege-Ventil aus zwei einzeln betätigbaren Absperrventilen (17, 18) besteht, von denen das eine im Strömungsweg zwischen ReaktionsgasEinlaß (2) und Durchgangskanal (6; 20, 13, 21) und das andere im Strömungsweg zwischen Reaktionsgas-Einlaß (2) und zweiten Auslaß (4, 4') angeordnet ist.
    5. Gaseinlaßvorrichtung nach Ansprüche 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Ein- und Ausläße (2, 3, 4, 5) sternförmig und die Absperrventile in einer Ebene angeordnet sind.
    6. Gaseinlaßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Mehr-Wege-Ventil ein 5Wege-Ventil mit zwei Absperrventilen (17, 18) ist, in dessen Ventilblock (1') ein Durchgangskanal (9') für das Abgas integriert ist.
    7. Gaseinlaßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Absperrventile Faltenbalgventile sind.
    8. Gaseinlaßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Ventile elektrisch oder pneumatisch betätigbar sind.
    9. Gaseinlaßvorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß als 4-Wege-Ventil ein mit einem weiteren Anschluß versehenes handelsübliches 3 -WegeVentil verwendet wird.
    10. Gaseinlaßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Ein- bzw. Ausläße (2, 3, 4, 5) Schraubverbindungen aufweisen, die eine direkte Verbindung des Trägergasauslasses des Mehr-Wege-Ventils mit. dem Trägergas-Einlaß des stromabwärts nächsten Ventils bzw. der Abgas-Durchgangskanäle ermöglichen.
    11. Gaseinlaßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß eine Steuereinheit vorgesehen ist, die die einzelnen Reaktionsgas-Ströme auf vorgegebene stationäre Werte einstellt, und die die einzelnen MehrWege-Ventile entsprechend dem gewünschten Einlaßprogramm umschaltet.
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
    US3080886A|1963-03-12|Fluid amplifier
    US5160542A|1992-11-03|Apparatus for vaporizing and supplying organometal compounds
    US8985152B2|2015-03-24|Point of use valve manifold for semiconductor fabrication equipment
    US6155282A|2000-12-05|Two out of three voting solenoid arrangement
    US4257439A|1981-03-24|Apparatus for producing calibration gases suitable for analytical instrumentation
    CN101576010B|2013-10-23|独立歧管双气体涡轮机燃料系统
    US4554942A|1985-11-26|Process gas controller
    JP4283884B2|2009-06-24|ガス集積弁
    US5744695A|1998-04-28|Apparatus to check calibration of mass flow controllers
    KR100633190B1|2006-10-11|가스 패널
    US4119120A|1978-10-10|Fluid switch
    KR100975441B1|2010-08-11|처리 챔버로의 가스 유동을 제어하기 위한 기기 및 그 방법
    KR100975442B1|2010-08-11|처리 챔버로의 가스 유동을 제어하기 위한 기기 및 그 방법
    US4509959A|1985-04-09|Modular industrial oxygen concentrator
    KR100714755B1|2007-05-07|유체 제어장치
    US8794261B2|2014-08-05|Fluid control system and fluid control method
    TWI589726B|2017-07-01|使用多區域氣體進料器之電漿處理室中的共用氣體面板
    US4215721A|1980-08-05|Modular multiple-fluid component selection and delivery system
    US5441076A|1995-08-15|Processing apparatus using gas
    US6936091B2|2005-08-30|System and method for treating fluid using a multi-port valve assembly
    JP4477630B2|2010-06-09|空気貯蔵スライドバルブ
    US6755947B2|2004-06-29|Apparatus for generating ozone, oxygen, hydrogen, and/or other products of the electrolysis of water
    US5975112A|1999-11-02|Fluid control device
    US20070193628A1|2007-08-23|Gas Supply Facility Of A Chamber And A Fethod For An Internal Pressure Control Of The Chamber For Which The Facility Is Employed
    CH673233A5|1990-02-28|
    同族专利:
    公开号 | 公开日
    JPS63501144A|1988-04-28|
    JPH07175B2|1995-01-11|
    DE3687524D1|1993-02-25|
    AT84444T|1993-01-15|
    EP0243416B1|1993-01-13|
    DE3537544C1|1987-05-21|
    EP0243416A1|1987-11-04|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1987-05-07| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): JP US |
    1987-05-07| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE FR GB IT LU NL SE |
    1987-07-09| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1986906268 Country of ref document: EP |
    1987-11-04| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1986906268 Country of ref document: EP |
    1993-01-13| WWG| Wipo information: grant in national office|Ref document number: 1986906268 Country of ref document: EP |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    DEP3537544.2||1985-10-22||
    DE19853537544|DE3537544C1|1985-10-22|1985-10-22|Gaseinlassvorrichtung fuer Reaktionsgefaesse|DE19863687524| DE3687524D1|1985-10-22|1986-10-21|Verfahren zum betreiben einer gaseinlassvorrichtung fuer reaktionsgefaesse.|
    AT86906268T| AT84444T|1985-10-22|1986-10-21|Verfahren zum betreiben einer gaseinlassvorrichtung fuer reaktionsgefaesse.|
    JP50554786A| JPH07175B2|1985-10-22|1986-10-21|反応容器のガス取入れ装置|
    [返回顶部]